MIT晶圆点灯缺陷测试设备

应⽤于 8/12寸Micro LED/OLED晶圆点灯AOI检测，集成自研EFEM晶圆上下料系统，运动平台，Probe Card模块， 信号机信号输出点灯，光谱仪和AOI检测功能的检测一体设备。对Micro OLED 晶圆切割前进行点亮检测筛选。